工欲善其事，必先利其器。德國optiX fab鍍膜機 NESSY D 及Fab一覽
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圖1 德國 Jena Tower，象征著耶拿150多年的光學工業(yè)歷史
在之前的文章《隱藏在德國Jena的小巨人：optiX fab.》中，我們介紹了德國optiX fab.公司25年的發(fā)展歷程及其背后的核心掌舵人Torsten Feigl博士。
工欲善其事，必先利其器。對于超高精密、高質量極紫外光學鏡片的生產(chǎn)，先進的鍍膜機、膜層結構、反射率表征儀器和良好的實驗室條件必不可少。本篇文章將著重為大家介紹德國先進制造商optiX?fab.公司的相關情況。
德國optiX fab.公司的新辦公室選址于德國Jena的Loftfabrik Otto Schott Str. 41，該工廠的歷史可以追溯到1939年，前身是由德國卡爾蔡司Carl Zeiss公司建設并用于精密光學鏡片制造技術員培訓的工廠。
圖2. 卡爾蔡司員工正在接受培訓
翻修后的工廠風采依舊。2021年初，Torsten給眾星聯(lián)恒的同事說他到：“在實地考察時，當時還有其人員也在考察此場地，出于對公司未來快速發(fā)展的充分信心，即便當時一層的面積就能滿足公司使用需求，我仍然直接租下了共計 2500m2?的上下兩層樓?！?/p>
圖3. optiXfab辦公室及實驗室所在建筑外部照片
經(jīng)過一年多的建設，optiX fab.開始啟用全新的辦公室及實驗室。并以視頻形式展示了實驗室裝修及設備安裝進程的三個階段。
optix-fab-gmbh-construction - PART1.
optix-fab-gmbh-construction - PART2.
optix-fab-gmbh-construction - PART3.
optiX fab.新建成的鍍膜實驗室安裝了4臺EUV鍍膜機- NESSY D，此系統(tǒng)可鍍直徑700mm的鏡片。
圖4. optiX fab新建成鍍膜實驗室
下圖5展示了用于基底裝載及鍍膜后膜層檢測、清潔及封裝的潔凈室，其中安裝了數(shù)臺Bruker衍射儀。
圖5. optiXfab 測試潔凈室（Marco Perske and Klara Stallhofer）
目前optiX fab.已經(jīng)投入了約1500萬歐元用于新實驗室的建設，以滿足逐年增長的EUV鏡片需求。Torsten Feigl博士還提到計劃新增兩臺EUV鍍膜機- NESSY D并進一步擴充產(chǎn)能。
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截至2024年
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optiX?fab.?已經(jīng)總計給用戶交付了超過26312片極紫外、X射線鏡片。
平均每個工作日交付大約9片鏡子。
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攜手德國 optiX?fab 公司，我們（眾星聯(lián)恒）針對中國市場聯(lián)合推出?1 /1/2英寸的高性能 13.5nm 極紫外/EUV 多層膜鏡片，并在中國辦公室常備庫存，以實現(xiàn)鏡片的快速交付。讓您不再苦苦等待鏡片的交付，而無法及時開展實驗。
眾星聯(lián)恒致力于引進高端的EUV/SXR/X射線產(chǎn)品、及新孵化高新技術產(chǎn)品給中國的同步輻射，研究所，高校及高端制造業(yè)的客戶，產(chǎn)品線包含X射線/EUV光源、X射線/SXR/EUV光學元件、X射線/SXR/EUV/可見光/電子探測器、VUV/XUV/X射線光譜儀、X射線分析系統(tǒng)和輝光放電質譜儀。同時，我司還可滿足同步輻射用戶的薄膜、表面和原位表征及半導體計量的需求，提供定制化的工業(yè)在線X射線檢測解決方案。
隱藏在德國Jena的小巨人：optiX fab.
?內(nèi) 容???凱文
?編 輯?? 小喬
